용인SK하이닉스의 환경영향평가 자료집은 살펴볼수록 부실하다는 의심을 갖게 만든다. 자료집에는 방류지점과 방류수질, 폐기물 처리시설 설치 등을 밝히고 있지만, 반도체 공정에서 사용되는 수많은 유해한 화학물질 종류와 그 특성을 공개하지 않고 있다.
오직 법적 근거를 나열하고, 그 기준에 맞춰 진행을 강조하며, “영향이 거의 없음”만을 주장한다. 환경영향평가 자료집은 그저 예상일뿐이다. 반도체 공장이 가동되면 평가 예측량과 실재 발생량은 불균형을 보일 것이다. 주민의 수용 여부가 오폐수 방류를 결정하는 데 매우 중요하다.
오폐수는 곧 화학물질
물환경보전법에서 폐수는 “물에 액체성 또는 고체성의 수질오염물질이 섞여있어 그대로는 사용할 수 없는 물”을 뜻한다. 같은 법에서 수질오염물질은 수질오염의 요인이 되는 물질로서 구리, 납, 니켈 페놀류, 벤젠, 다이옥신 등 58개를 명시하고 있다. 또한 특정수질유해물질로서 사람의 건강, 재산이나 동식물의 생육에 직접 또는 간접으로 위해를 줄 우려가 있는 수질오염물질로서 33가지를 규정하고 있다.
반도체 제조 공정에는 물환경보전법에서 밝힌 (특정)수질오염물질보다 훨씬 많은 유해한 화학물질을 사용하는 것으로 알려졌다. 안전보건공단 산업안전보건연구원이 진행한 ‘제조업 사업장 공정별 유해물질 노출실태 편람 개발연구 보고서(2018)’을 살펴보면, 반도체 제조 고정에 사용되는 화학물질을 그나마 알 수 있다. 15개 공정별로 각각 사용하는 수백 종의 화학물질을 나열하고 있다. 각 공정별 사용되는 화학물질을 살펴보자.
○확산공정에는 암모니아(NH3), 불소, 수소, 일산화질소, 아산화질소, 옥시염화인, 불산, 염화수소 등. ○포토공정에는 휘발된 밀착향상제(HMDS,사메틸디실라잔), 고분자 수지, 유기용제(사이클로헥사논, 에틸벤젠, 에틸락테이트 등), 벤젠, 크실렌, 페놀, 헥산, 헵탄, 아세톤 등. ○식각공정에는 불산, 염산, 질산, 황산, 암모니아수, 브롬화수소, 황화카르보닐 등. ○증착공정에는 아세틸렌, 디보란, 디크로로실란, 아산화질소, 포스핀, 실란, 사염화티타늄, 할로겐화탄화수소, 삼불화질소, 육불화텅스텐, 알코올 등. ○이온주입공정에는 아르신, 삼불화붕소, 포스핀 등. ○연마공정에는 연마액(실리카, 산화세륨, 암모니아수, 수산화칼륨), 불산 등. ○후면연마공정에는 결정실리카, 수산화테트라메틸암모늄(TMAH), 피페라진 등이 쓰인다.
○웨이퍼절단공정에는 에폭시수지, 페놀수지등 고분자 수지, 아세톤, 은, 경화제 등. ○칩 접착공정에는 에폭시수지, 페놀수지 등. ○몰드 공정에는 카본블랙, 실리카, 삼산화안티몬, 멜라민수지, 합성고무, 에탄올아민, 왁스 등. ○레이저마킹공정에는 휘발성유기화합물 등. ○잉크마킹공정에는 솔벤트나프타, 크실렌, 사이클로헥사논, 초산에틸 등. ○도금공정에는 수산화칼륨, 메틴술폰산, 메틸알코올, 과산화수소, 황산 등. ○솔더볼부착공정에는 솔더볼(주석, 은, 구리), 플럭스(계면활성제, 글리세롤, 폴리에틸렌글리콜, 에틸렌옥사이드 중합체 등). ○열적테스트공정에는 톨루엔, n-헥산 등 휘발성 유기화합물 등이 사용된다.
반도체 제조 공정별로 부산물이 발생하며, 부산물로서는 벤젠, 톨루엔, 에틸벤젠, 크실렌, 페놀, 염화수소, 불화수소, 비소, 인, 붕소, 불소, 전리방사선, 포름알데히드 등으로 밝혀졌다. 위 연구원 보고서는 “발암물질에서부터 자극성물질까지 매우 다양한 수백 종의 화학물질을 사용”하고, “사용하는 과정에서 독성이 강한 부산물들도 발생”한다고 밝히고 있다.
반도체 공정에서 발생되는 화학물질이 인체에 미치는 영향을 살펴보면, 급성호흡부전 유발(불화수소), 호흡기․중추신경계 영향(엔부틸아세테이트), 호흡기․눈․피부자극(테트라메틸암모늄하이드록사이드), 유전자변형․중추신경계(사불화메탄), 중추신경장애(포스핀), 암 발생(알진), 호흡곤란․구토․어지러움(육불화에탄) 등의 증상으로 심각한 위해성을 가진 것으로 나타났다. 사업자 측은 주민들에게 반도체 공정에서 사용하는 중요한 화학물질의 목록을 밝히지 않고 “영향이 거의 없음”만을 환경영향평가 자료집을 통해 주장한 것이다.
주민 참여 필요
반도체 제조 공정에서 발생하는 오폐수를 안성천으로 유입시키기 위해서는 “주민의 수용이 매우 중요”하다. 지역의 환경적 불평등을 초래하는 사업자 측의 오폐수 처리 계획은 심각한 반대에 직면할 수 있다. 지역간 불균형이 존재하지만 사업자 측은 폐수처리를 위해 “투명한 의사결정의 과정”을 만들기 위해 귀담아 들어야 한다.
공청회 자료집에는 공공폐수처리시설 단계별 시설계획으로 1단계(2014~2028년) 90,000톤/일, 4단계(2037~2040년) 이후 360,000톤/일을 밝혔다. 이러한 발생량 예측이 정확한지 의문을 가질 수 밖에 없다. 또한 고삼저수지 저류와 방류 능력, 한천 홍수위 영향, 토사유출, 방류 수온 등에서 “영향은 거의 없음”과 “방류 능력 충분” 등도 마찬가지이다.
이와 같은 결론은 주민들에게 불만을 유발할 뿐이다. 그 이유는 사업자 측이 제시한 환경영향평가 예측이 정확하고 신뢰할 수 있는가 문제이기 때문이다. 사업자 측의 공장 외 실제 입주할 50개 업체에서 발생하는 오폐수 발생량의 차이는 없는가? 실제 배출량의 차이가 발생할 가능성을 배제한 예측이기 때문이다. 예기치 못한 기후 발생과 안전 사고까지 감안한다며 더더욱 신뢰하기 힘든 예측 데이터일 뿐이다. 사업자 측의 주장외 비교할 수 있는 자료를 제시 하지 않았으며, 실제 예측량의 모델만으로는 정확성과 신뢰성을 확인할 수 없는 것이다. 환경영향평가에서 가장 중요한 부분은 사업자 측의 시설에 대한 정확한 예측이 필수인 것이다.
한국환경정책․평가연구원(KEI)가 발행한 ‘산업단지내 폐기물시설의 환경성 및 주민 수용성 제고 방안(2019)’에는 “폐기물은 발생된 지역에서 처리가 완결되는 것이 가장 이상적”이라고 설명하고 있다. 그래서 “사업계획 수립에 있어 주민 수용성의 확보가 매우 중요하며, 기존 주민의견 수렴 과정보다 더욱 강화된 주민 수용성 확보 방안을 마련․적용할 필요가 있음”을 강조하고 있다.
